最高资助2500万 广东大力扶持半导体金刚石项目

9月19日，广东省科技厅发布通知，正式启动2019年度广东省重点领域研发计划“第三代半导体材料与器件”重大专项项目申报工作。该重点专项目标是：围绕第三代半导体关键材料、器件、模组以及可靠性测试技术等方面的迫切需求，在第三代半导体材料生长技术及设备、功率器件与模块、射频器件与模块、深紫外固态光源等方面，开展核心技术攻关与应用研究。

本专项重点部署6个专题，每个专题含多个项目，其中包括MPCVD半导体金刚石单晶材料生长设备及关键工艺技术攻关项目。具体相关内容如下：

项目名称：MPCVD 半导体金刚石单晶材料生长设备及关键工艺技术攻关

1）开展基于微波诱导腔体共振激发的等离子体行为模拟研究，研制国产大功率微波等离子体化学气相沉积设备（MPCVD）；

2）研制国产大功率微波发生器及其辅助设备，提高设备的运行效率；

3）通过仿真与工艺实验优化，攻关大面积金刚石衬底的高速、高质量与高均匀性的生长难题，制备高质量大尺寸单晶金刚石衬底。

1）研制出国产 30kW 大功率 2.45 GHz 的频率发生设备，能量幅值波动小于 5%，频率稳定度在 1%；

2）研制出国产 30kW 微波等离子体化学气相沉积设备，实现大于 50 μm/h 的金刚石生长速率，其 N、Si 等杂质的含量接近或低于金刚石光致发光光谱的检测限；

3）制备 2 英寸的单晶金刚石衬底，其（400）晶面的 XRD 摇摆曲线半高宽小于 50 弧秒，金刚石的一阶拉曼位移半高宽小于4cm-1；

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4）以上指标通过具有国家认证资质的第三方测试机构测试；

5）设备平均故障间隔时间（MTBF）＞5000 小时；

6）申请发明专利 10 件，围绕项目形成的创新成果发表高水平论文。

支持方式与强度：无偿资助，每项不超过2500 万元。

广东省科学技术厅关于组织申报2019年度广东省重点领域研发计划“第三代半导体材料与器件”重大专项项目的通知

省直有关部门、各地级以上市科技局（委）、各有关单位：

根据《广东省重点领域研发计划实施方案》，现启动2019年度广东省重点领域研发计划“第三代半导体材料与器件”重大专项项目申报工作（申报指南见附件1）。有关事项通知如下：

（一） 项目申报单位（包括科研院所、高校、企业、其他事业单位和行业组织等）应注重产学研结合、整合省内外优势资源。申报单位为省外地区的，项目评审与广东省内单位平等对待，港澳地区高校院所按照《广东省科学技术厅广东省财政厅关于香港特别行政区、澳门特别行政区高等院校和科研机构参与广东省财政科技计划（专项、基金等）组织实施的若干规定（试行）》（粤科规范字〔2019〕1号）文件精神纳入相应范围。

省外单位牵头申报的，经竞争性评审，择优纳入科技计划项目库管理。入库项目在满足科研机构、科研活动、主要团队到广东落地，且项目知识产权在广东申报、项目成果在广东转化等条件后，给予立项支持。

（二） 坚持需求导向和应用导向。鼓励企业牵头申报，牵头企业原则上应为高新技术企业或龙头骨干企业，建有研发机构，在本领域拥有国家级、省部级重大创新平台，且以本领域领军人物作为项目负责人。鼓励加大配套资金投入，企业牵头申报的，项目总投入中自筹经费原则上不少于70%；非企业牵头申报的，项目总投入中自筹经费原则上不少于50%（自筹经费主要由参与申报的企业出资）。

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（三） 省重点领域研发计划申报单位总体不受在研项目数的限项申报约束，项目应依托在该领域具有显著优势的单位，加强资源统筹和要素整合，集中力量开展技术攻关。不鼓励同一单位或同一研究团队分散力量、在同一专项中既牵头又参与多个项目申报，否则纳入科研诚信记录并进行相应处理。

（四） 项目负责人应起到统筹领导作用，能实质性参与项目的组织实施，防止出现拉本领域高端知名专家挂名现象。

（五） 项目内容须真实可信，不得夸大自身实力与技术、经济指标。各申报单位须对申报材料的真实性负责，要落实《关于进一步加强科研诚信建设的若干意见》（厅字〔2018〕23号）要求，加强对申报材料审核把关，杜绝夸大不实，甚至弄虚作假。各申报单位、项目负责人须签署《申报材料真实性承诺函》（模板可在阳光政务平台系统下载，须加盖单位公章）。项目一经立项，技术、产品、经济等考核指标无正当理由不予修改调整。

（六） 申报单位应认真做好经费预算，按实申报，且应符合申报指南有关要求。牵头承担单位原则上应承担项目的核心研究任务，分配最大份额的项目资金。项目研究成果须在广东转化和产业化。

（七） 有以下情形之一的项目负责人或申报单位不得进行申报或通过资格审查：

1.项目负责人有广东省级科技计划项目3项以上（含3项）未完成结题或有项目逾期一年未结题（平台类、普惠性政策类、后补助类项目除外）；

2.项目负责人有在研广东省重大科技专项项目、重点领域研发计划项目未完成验收结题（此类情形下该负责人还可作为项目组成员参与项目申报）；

3.在省级财政专项资金审计、检查过程中发现重大违规行为；

4.同一项目通过变换课题名称等方式进行多头或重复申报；

5.项目主要内容已由该单位单独或联合其他单位申报并已获得省科技计划立项；

6.省内单位项目未经科技主管部门组织推荐；

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7.有尚在惩戒执行期内的科研严重失信行为记录和相关社会领域信用“黑名单”记录；

（八） 申报项目还须符合申报指南各专题方向的具体申报条件。

符合指南申报条件的单位通过“广东省政务服务网”或“广东省科技业务管理阳光政务平台（http：//pro.gdstc.gov.cn）”提交有关材料进行申报。项目申报采用在线申报、无纸化方式，必要的技术、财务、知识产权、合作协议、承诺函等佐证支撑材料请以附件形式上传。申报材料不宜通过网络形式提交的，由申报单位提出书面申请，报省科技厅同意后可走线下申报。

项目评审评估过程须提供的补充材料由第三方专业机构另行通知提交。项目按程序立项后，项目申报书、任务书纸质件再一并报送至省科技厅综合业务办理大厅（均需签名、盖章，提交时间及具体要求另行通知）。

省重点领域研发计划项目由第三方专业机构组织评审，对申报项目的背景、依据、技术路线、科研能力、时间进度、经费预算、绩效目标等进行评审论证，并进行技术就绪度和知识产权等专业化评估：

（一） 技术就绪度与先进性评估。本专项主要支持技术就绪度4～7级的项目，其中，技术就绪度目前为4～6级的项目在完成后原则上应有3级以上提高，目前为7级的项目在完成后应达到9级（技术就绪度评价标准及细则见附件2），各申报单位应在可行性报告中按要求对此进行阐述并提供必要的佐证支撑材料（可行性报告提纲可在阳光政务平台系统下载）。

（二） 查重及技术先进性分析。将利用大数据分析技术，对照国家科技部科技计划历年资助项目与广东省科技计划历年资助项目，对拟立项项目进行查重和先进性等分析。

（三） 知识产权分析评议。项目研究成果一般应有高质量的知识产权，请各申报单位按照高质量知识产权分析评议指引（见附件3）的有关要求加强本单位知识产权管理，提出项目的高质量知识产权目标，并在可行性报告中按要求对此进行阐述并提供必要的佐证支撑材料（可行性报告提纲可在阳光政务平台系统下载），勿简单以专利数量、论文数量作为项目目标。

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拟立项项目经领域专家和战略咨询专家审议，并按程序报批后纳入项目库管理，按年度财政预算及项目落地情况分批出库支持，视项目进展分阶段进行资金拨付。

同一指南中的同一项目方向（或子方向），原则上只支持1项（指南有特殊说明的除外），在申报项目评审结果相近且技术路线明显不同时，可予以并行支持。